¢ß»çÀÌ·ÎÁ÷¿¡¼´Â ¿¬·áÀüÁö Å×½ºÆ®¸¦ À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ °³¹ß °ø±ÞÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¬·áÀüÁö Å×½ºÅÍ´Â ÀüÁöÀÇ ¼º´ÉÀ» Æò°¡Çϱâ À§ÇÑ Àü±âºÎÇϱâ(Electric Loader), ¿¬·á°ø±ÞÀ» À§ÇÑ À¯·®Á¦¾î±â(Mass Flow Controller), ¿Â½Àµµ Á¦¾î±â, µ¥ÀÌÅÍ ÃøÁ¤½Ã½ºÅÛ µîÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. »çÀÌ·ÎÁ÷Àº ´Ù¾çÇÑ Çϵå¿þ¾î¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÚµ¿¿îÀü Æò°¡¸¦ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ °ø±ÞÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù |