최근에 반도체 공정이 정밀해지면서, 설비의 미세한 진동이 반도체 및 LCD의 수율에 미치는 영향이 커졌습니다. 이전에는 제품 설치 시, 방진 시스템에 대한 진동 평가만 하였으나, 최근에는 제품 생산 중에 발생하는 진동도 모니터링 하여 생산품의 수율을 높이고자 하는 노력이 증가하고 있습니다.
설비진동은 주로 저주파 대역을 모니터링 하며, 상위 MES 시스템에 연동되어 측정값 전송을 할 수 있도록 되어 있습니다. 또한, 이상 진동 발생시, DO 접점을 통하여 설비에 신호를 출력할 수 있도록 구성되어 있습니다.
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